设备可靠性有效性和可维护性的定义和测试规范

设备可靠性有效性和可维护性的定义和测试规范设备可靠性有效性和可维护性的定义和测试规范 这个规范在技术上已被全球公制委员会核准，并由北美公制委员会直接担任。目前的版本在 2001 年 3 月 1 日被北美地域规范委员会核准经过。2001 年 6 月将在国际半导体设备和资料协会试 行，之后同月发布。其第一版发布于1986 年，上一版发布于 1999 年 6 月。 1. 1.目的目的 1.1 这份文献经过提供测试半导体制造设备在制造环境中的三性〔牢靠性、有效性、可维护性〕的 规范，为设备的运用者和供应商之间的沟通树立了一个通用基础。 2. 2.范围范围 2.1 这份文献定义了设备的 6 种基本形状。它包括了设备的任何时间一切能够的形状。设备的形状 由其功用状况决议，而不论操作者是谁。在这里所做的对设备牢靠性的测试强调的是对正在运用中 的设备的突然中缀，而不是对设备的一切时间。 2.2 本文献第三节〔设备形状〕定义了如何对设备时间分类。第六节〔三性测试〕定义了测试设备 形状的公式。第七节〔不确定测试〕另外给出方法用来评价所得数据的统计意义。 2.3 有效的运用这份规范需求设备的任务遵照它的周期及或时间。自动监测设备形状是规范SEMI E58 中的内容，并不在本规范中。设备运用者与供应商之间明晰有效的沟通将继续提高设备的任务 状况。 2.4 在这份规范中的三性的指数可以直接运用于整个设备的非成套工具和子系统水平级。三性指数 可以适用于子系统水平〔例如进程模块〕的多途径组工具。 2.5 这份规范虽然有提到平安事宜，但目的并不旨在追求这个方面。它将是这个规范运用者的责任 来树立适宜的平安和安康条款，以及在运用前决议限制章程的运用。 3. 3.参考规范参考规范 SEMI E58 — 自动化的牢靠性、有效性和可维护性的规范 注释 1：本文列出的一切文献都运用其最新的顺应版本。 4. 4.术语术语 4.1 辅佐 — 在一个设备周期中设备任务突然中缀时发作，它有以下三种状况： 经过外部干预使中缀的设备周期继续。 〔比如经过操作工和运用者的干预， 无论它是人或电 脑。 〕 除了一些特殊的消耗品，零件不可交流。 在设备操作规范方面没有进一步改动。 4.2 成组工具 — 由机械地衔接在一同的集成进程模块组成的制造系统。 〔这些模块能够来自于同一 或不同供应商〕 4.2.1 单途径成组工具 — 只要一条流水线的成组工具。 4.2.2 多途径成组工具 — 超越一条独立流水线的成组工具。 〔比如，多负荷闸、异样型号的多流程 单元室〕 4.3 周期〔设备周期〕 — 一个设备系统或子系统的完全操作进程〔包括装卸产品〕 ，有流程、制造、 测试步骤。在一个单元流程系统中，周期数等于流经的单元数。在多批系统中，周期数等于批量数。 4.4 停工时间〔设备停工时间〕— 设备不在任务形状或没有执行到它应有水平的时间，不包括任何 不在方案布置上的时间。 4.5 缺点〔设备缺点〕— 在没有外来干预下发作的不测缺点或偏离。 注释 2：正确分类设备缺点关于方便处置效果和提高设备才干是十分重要的。 4.6 宿主 — 联络设备的智能系统，作用相当于代表工厂指导下属的制造主任。 〔比如，一个非植入 的计算机或单元控制器〕 4.7 中缀 — 任何干预和缺点 注释 3：中缀＝干预之和＋缺点之和 4.8 维修 — 保证设备在预定功用形状下任务。在本文献中，维修的目的是功用不是设备结构；不 论是谁来维修，它都包括调整、资料变化、软件开放、修缮、预定检测等等。 4.9 制造时间 — 一切消费产品的时间及相应停留等候时间。 4.10 非方案时间 — 方案中设备不在用于消费的时间。 4.11 消费时间 — 总时间减非方案时间。 4.12 操作工 — 在设备旁经过设备控制面板操作设备的人员。 4.13 产品 — 可以成为有成效的半导体装置的一个单元，包括功用的工程装置。 4.14 断工 — 为使设备能继续任务的一段维修时间，包括冲洗、冷却、加热、软件备份、贮存、静 态数据〔包括参数、方法〕 、断工发作在方案内和方案外的停工时间内。 4.15 停工 — 在断工维修后，使设备恢复正常功用任务的一段维修时间。包括冲气、加热、规范化 时间、初始化常数、载入软件、重贮数据〔例参数、方法〕、控制系统再建等等。但不包括设备及流 水线检测时间。停工也发作在方案内外的停工时间内。 4.16 关机 — 当设备有方案外形状时，让设备回到平安形状的时间。它包括为了到达平安形状所做 的任何进程。关机仅出如今方案外时间中。 4.17 规范〔设备操作〕— 文献中所写的在运用者与供应商之间在设备操作的规则条件下的功用所 达成的分歧条款。 4.18 末尾 — 设备从方案形状抵达成预期功用所需的时间。包括冲气、加热、冷却、规范化时间、 初始化常数、载入软件、重贮数据〔例参数、方法〕 、控制系统再建等等，末尾包括于方案外时间中。 4.19 辅佐工具 — 不属于消费设备，但是在正常操作中必需的设备。 〔比如，密封盖、运载机、探 测卡片、电脑控制器〕 4.20 总时间 — 一周 7 天，1 天 24 小时的一切检测时间。为了正确表达总时间，设备的一切6 种基 本形状必需正确记载。 4.21 培训〔任务外〕— 在任务外时间对设备操作和维修停止的指点。它包括于方案外时间。 4.22 培训〔线上〕— 在正常任务时对团体操作和维修停止的指点。线上培训普通不会打断正常的 操作和维修活动，所以它可以不被区别的包括在任何设备形状中〔除等候与方案外时间〕 4.23 单元 — 任何晶片，模，成套设备或单位零件。 4.24 任务时间 — 设备处于正常功用形状的时间，包括有效消费的、等候的和筹划时间，不包括任 何方案外时间。 4.25 运用者 — 举措于设备的实体，无论是在设备旁的操作者或在远处遥控的自动界面。从设备的 角度动身，操作者和宿主都是运用者。 4.26 校正运转 — 设备的一次循环〔运用产品单元，非产品单元或不成单元的〕以用来引导设备进 入规范中的预定形状。 5. 5.设备形状设备形状 5.1 为了清楚地检测设备地表现，本文献定义了一切设备状况和时期必需遵照地6 种基本形状。 5.2 设备形状是由功用决议而不是由设备结构决议。例如任何维护进程都是这样分类，而不论谁是 操作者、操作工、技术人员或流程工程师。 5.3 图 1 是 6 种设备形状的框架图。关键的时间块在后文的等式中将会特别用到。这些基本的设备 形状又可以分红许多子形状， 以满足消费运转所需的追踪处置。 SEMI E10 并没有列出一切的子形状， 但是给出了许多例子用以指点。 制度外时间制度外时间 方案外停工时间方案外停工时间 设备停工时间 方案内停工时间方案内停工时间 总时间 运作时间工程时间工程时间 设备任务时间 等候时间等候时间 制造时间 有效消费时间有效消费时间 图 1 设备形状框架图 5.4 有效形状 — 设备按预定功用任务的时间。有效形状包括： 惯例消费〔包括装卸产品〕 为第三方任务 返工 与消费结合的操纵。能够是或不是产品单元〔比如，分批和新运用〕 。 5.5 等候形状 — 在这段时间内，设备是在正常功用形状下，基础设备和化学资料