金属蒸发作业指导书

金属蒸发作业指导书金属蒸发作业指导书 1.1. 目的目的 规范金属蒸发台（PEVA－600E）设备操作方法、工艺要求、安全操作注意事项、保证生产作业正常安全进 行。 2.2.范围范围 。 3 3．控制内容．控制内容 3.1 作业条件 3.1.1 产品条件：根据产品随工单内设置的工艺条件作业。 3.1.2动力条件： 3.1.2.1 压缩空气（CDA）：0.4-0.5Mpa 3.1.2.2 电：380V 50Hz 3.1.2.2 氮气：0.1-0.2Mpa 3.1.2.3 冷却水：1.5-2kg/cm2，20－22℃ 3.1.3 使用材料：金、镍、铝、钛。 3.1.4 使用设备：HC403 3.1.5 镀锅： 所有金属蒸镀制程使用单锅自转模式。 若需使用三锅自公转模式蒸发金属需通知工艺技术人员确认。 3.2 点检要求 3.2.1 日常点检：每日白班人员在上班后按照《金属蒸发日常点检表》对设备进行日常点检。 3.2.2 启动点检：设备启动、维修后按照 《金属蒸发设备启动点检表》 对设备进行启动点检。主要是指对真空 （坩 埚底座）和电子枪的维修。 3.2.3 异常处理：如果点检不符合标准，通知工艺技术人员和设备技术员。 3.2.4 晶振片寿命：当晶振片寿命降到70％时需要立即更换晶振片。 3.3 操作步骤 3.3.1 来片接收 3.3.1.1 按照《生产过程控制程序》中的“四个一致”执行。 3.3.1.2 检查来片表面有无异常，要注意检验制品表面的异常情况，包括划伤、裂纹、沾污、光刻胶表面情况、 表面色泽有无异常等，发现异常时暂停流片，并通知工艺技术员处理。 3.3.2 生产 3.3.2.1取待蒸发片并核对好蒸发工艺条件。 3.3.2.2 填写《金属蒸发原始记录表》。 3.3.2.3 生产中的异常处理 3.3.2.4 蒸发过程中要不断地观察蒸发情况，发现异常时（如坩埚偏、行星架转动不平稳、电子枪跳闸或打火、 真空度不够等）通知工程师处理，作业员不得私自对异常进行处理。 3.3.2.5 设备出现异常须维修时立即通知技术员并将设备暂停。 3.3.3 蒸发工艺操作 3.3.3.1 加源：每次使用前检查坩埚内的源是否够量，约2/3 坩埚。从氮气柜中取出蒸发源，加够量，用完后将 蒸发源重新放回氮气柜保存。加源前需要检查源锭表面是否有杂物、颜色是否异常等，请报告技术员决定是否需 要将金属源锭进行更换或清洗处理 。加源时需使用专用镊子， 注意源不能加的过多以免卡住坩埚，注意源不能加的过多以免卡住坩埚， 不可超过边沿，不可超过边沿， 加完源还未熔源之前一定不要转动坩埚加完源还未熔源之前一定不要转动坩埚，换源锭后填写《蒸发台换源原始记录表》。 3.3.3.2 装片 3.3.3.2.13.3.3.2.1 注意检查电子枪电源为关闭。然后在“Process”模式下点击“VENT”或直接点击“V4”阀门，腔体开始充气 直至大气压，手动打开腔门。 3.3.3.2.2 取下镀锅，用吸尘器吸取蒸发腔内的污染物，如果发现蒸发源的表面有脏物，取出用氮气枪吹，要特 别注意吹气的方向，气流的大小，避免带来新的污染。 3.3.3.2.3 将镀锅从支架上取下，小心地放置在操作台上，确定不影响装片。用吸笔将产品轻轻吸住，小心的放 在镀锅上，注意要蒸发的一面朝上，然后用固定弹簧钩轻轻地压住片子；若一次蒸发超过两批，则根据投料批号 的大小，从小到大装片。 （注：每次装片之前检查吸笔是否沾污，如果沾污，用酒精擦拭干净再用。）注意装片 时要从内圈向外圈装片，要顺时针转动镀锅装片，以免衣袖污染制品；装片完成后，要检查晶片是否固定好，有 无灰尘或其它异常，若有灰尘要使用氮气枪将灰尘吹掉，吹片的时候气流不要太大，需要先试验气流的大小，再 开始吹片，吹片的时候要向外吹，不能向内吹，以免污染其它晶片。 3.3.3.2.4 将装好制品的镀锅，小心的装回支架，一定要注意修正板位置，不要碰到镀锅的片子。用手慢慢转动 支架，检查镀锅是否放稳。再检查腔体大O 型密封圈是否干净无异物。如有，用酒精将其擦拭干净，包括密封 圈的接触面。 3.3.3.3 抽真空 3.3.3.3.13.3.3.3.1 抽真空前蒸发台需要检查的项目： A）观察窗：保证观察窗的干净，如果表面有金属层则可使用酒精和纤维纸进行清洁，如还无法去除，则直接更 换观察窗的防镀玻璃。 B）观察反射镜：两块镜片的位置需要调整到能看到整个坩埚源的情况，否则需设备人员或工艺人员调节；对镜 片的清洁同上。 C）真空腔体：检查腔体内是否有金属屑等异物，如发现则用蒸发专用吸尘器进行清洁，在清洁的过程中操作要 小心，避免碰到设备内部其他部件。 D）冷泵：确认冷泵温度15K。 E）坩埚：加源后就不能转动坩埚，若一次要加两种不同的金属，先加一种金属熔完后再开腔体加另一种金属。 核对此时运行的坩埚与程序里面的坩埚号要一致。如发现坩埚被源卡住，应立即点击坩埚示意图下的 “ABORT”， 然后点击“REVERSE”，将坩埚倒回来。清理坩埚时用吸尘器吸坩埚内的金属屑，此时禁止转动坩埚，以免将金 属源吸起而卡锅。 F）确认蒸发台处在Automatic（自动）状态，确认各动力条件均为正常。 3.3.3.3.2 确认各项条件均满足后，缓慢的关闭腔门（注：当腔门快关上时，机台会自动将门吸过去，并关紧）， 点击“ AUTO”，此时，机械泵（MP）开启，开始粗抽，刚开始抽气时可以听到较大的抽气声音；确认熔源完成 后， 在“Load Recipe”模式下选择工艺要求的程序， 并点击“Load”加载程序； 然后在“Process”模式下点击“START” 开始运行程序。当真空抽到 5×10-2Torr时，自动关闭粗抽阀RV，开启高真空阀HV，开始使用CP（冷泵）抽真空， 高真空计IG1开启，真空值很快跳至E-5。按工艺要求，抽真空时间要少于5050分钟，真空值达到2×10-6Torr时，开 始蒸源，否则通知设备人员维修并点检后方可做片。 3.3.3.3.33.3.3.3.3 当关闭腔体开始抽真空之前，需要手动打开镀锅的转动马达，注意观察镀锅转动是否平稳。当程序运 行到开始抽高真空的时候，镀锅会自动转动， 此时需要观察镀锅转动是否良好，转动时如果声音异常异常需报告 设备人员维修。 3.3.3.43.3.3.4 蒸发 当腔体的真空抽到设定值（设定为2×10-6Torr）时，电子枪自动启动，电子枪启动时机台会报警，此时要注意电 子枪的高压应在－10KV 左右； 然后机台会按照程序的设定运行， 直至蒸镀完成， 蒸镀完成后电子枪会自动关闭， 注意在电子枪刚开始加功率的时候一定要注意观察， 防止电子束打偏， 在蒸镀过程中不要打开蒸发台的任何腔门， 否则程序就会自动终止。 3.3.3.5 取片 取片前应把坩埚打向空位置，然后关闭高真空计IG1，再按到 VENT（充气），然后按“MAN”将抽真空模式改为 手动，腔体开始充气。稍等片刻，腔体自动打开。将镀锅从支架上慢慢取下，放在操作台上，然后轻轻移开固定 弹簧，用吸笔将制品取下放入片盒；注意取制品的时候是先取外圈，再取内圈的，要逆时针转动镀锅取片，以免 衣袖污染制品，并且要注意制品的顺序不能放错。 3.3.3.6 若发