简析电子束、离子束、激光束加工的区别

简析电子束、离子束、激光束加工的区别简析电子束、离子束、激光束加工的区别 答案：答案： 1. 1.加工原理：加工原理：电子束和离子束的加工原理相似，都是发生撞击效应、溅射效应和 注入效应，从而实现加工；而激光束加工的机理是热效应。 2. 2.加工装置：加工装置：电子束和离子束相似，主要由电子枪系统、真空系统、控制系统、 和电源系统做成；而激光束是由激光器、电源、光学系统、机械系统等组成。 3. 3.加工特点：加工特点： 电子束：电子束： （1）.束径小、能量密度高； （2）.非接触加工，加工过程中工具与加工工件之间不存在明显的机械切削力，不产生宏观 应力和变形； （3）.被加工对象范围广； （4）.电子束能量高，加工速度快、效率高； （5）.电子束加工需要一套专用设备和真空系统，价格昂贵。 离子束：离子束： （（1 1））. .加工精度和表面质量高； （（2 2））. .加工材料广泛； （（3 3））. .加工方法丰富； （（4 4））. .性能好，易于实现自动化； （（5 5））. .应用范围广泛，可根据加工要求选择。 激光束：激光束： （（1 1））. .加工精度高； （（2 2））. .加工材料范围广； （（3 3））. .加工性能好； （（4 4））. .加工速度快、效率高； （（5 5））. .价格昂贵 加工方法：加工方法： 电子束; （1）.电子束扫描曝光； （2）.电子束投影曝光； （3）.电子束表面改性。 离子束： （1）.离子束溅射去除加工； （2）.离子束溅射镀膜加工； （3）.离子束注入加工； （4）.离子束曝光加工。 激光束： （1）.加工精度高； （2）.加工材料范围广； （3）.加工性能好； （4）.加工速度快、效率高； （5）.价格昂贵。