二次配工程规范完整资料
中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 1 OF 58 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 【最新整理,下载后即可编辑】 中緯積體電路中緯積體電路( (寧波寧波) )新建工程新建工程 氣體管線二次配工程規範氣體管線二次配工程規範 【最新整理,下载后即可编辑】 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 2 OF 58 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 CONTENTSCONTENTSPAGESPAGES 1. 1.目的目的 2. 2.範圍範圍 3. 3.文件送審文件送審 4. 4.施工說明施工說明 5. 5.其他說明其他說明 6. 6.驗收標準驗收標準 7. 7.保固期限保固期限 【最新整理,下载后即可编辑】 3 3 3 3 4 4 6 6 1313 1414 1717 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 3 OF 58 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 1.1. 目的目的 為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉,且亦能維護Hook Up 二次配管施工之品質及作業安全 。本規範如有任何疑慮依業主 及總顧問公司解釋為準。 2.2. 範圍範圍 2.1. 製程設備氣體管線 Hook-up 工程材料採購及管路安裝; Hook-up 範圍,GN 2、PN2、PO2、CDA 自主管預留閥至 機台內部接點(含支管),PH 2、SiH4、SiH4/N2 由氣體站氫 氣純化器出口及 SiH 4、SiH4/N2 氣瓶櫃出口接至機台(含 VMB),其他特殊氣體自位於氣體房或 Subfab 之氣瓶櫃/ 架至機台內部接點(含 VMB/VMP),其中必要的管線、管 件及焊接所需氣體,均由承包商負責提供。GN 2、PN2、 PO 2 各支管位置及預留take-off 閥尺寸及數量,請參 照 ”FAB 棟 一 層 大 宗 氣 體 二 次 配 平 面 圖 ”( 圖 號 SP-211);各 VMB/VMP 位置,請參照”FAB 棟一層特殊 氣體二次配平面圖”(圖號 SP-212);氣體站至 FAB 間氣 體管線,請參照”氣體站至 FAB 棟氣體二次配管線平面 圖”(圖號 SP-234);GN 2、PN2、PO2、CDA 自 take-off 閥 至機台間所需裝設之閥件,請參照” SP-2 二次配管詳 圖”(圖號 SP-231);而 take-off 閥及 VMB/VMP 與機台銜 接點等相關資料,請參照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二 ”Specialty gas VMB/VMP list”及附件 三”CDA take-off list”。承包商需根據該表資料,設計至 機台管線之路徑。 前項氣體管線 Hook-up 工程之管路細部設計、施工圖繪 製、ISO 圖繪製(Auto 2000 或以上版本圖檔予顧問及業 主)、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材 2.2. 【最新整理,下载后即可编辑】 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 4 OF 58 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 料存放及廢料清潔等雜項工程。其中施工圖及ISO 圖 面,需依照機台用量流程圖(P&ID)及機台設備外觀圖繪 製,並配合材料明細表供業主確認。 2.3. 本項工程為連工帶料施工,並包含施工中所需之施工工 具、施工設備、無塵服、安全防護器具、管支撐及雜項 消耗等,均由承包商負責。 配合”二次配工程說明” (規範標號 NS-SP001)要求所需 各項雜項費用。 所有管路標示,管路標示依照”二次配工程說明”辦理。 所有管路防震固定支撐架之安裝定位。 高架地板開孔及收邊之工程發包、請款,切割區域管理。 氣體站至 FAB 間管線所需管橋由業主提供,承包商需負 責依業主指示規劃氣體管線路徑,並負責安裝所需管夾 等固定裝置。 2.4. 2.5. 2.6. 2.7. 2.8. 3.3. 文件送審文件送審 文件名稱 投標設計竣工 階段階段階段 (3份)(5份)(5份) X X X X X X X X X X X 1. 報價表(Quotation ) 2. 專案組織表(Project organization) 3. 專 案 執 行 時 程 表 (Project schedule) 4. 工程界面清單及位置圖(List & location of tie-in point) 5. 系統管儀圖 (P&IDs) 【最新整理,下载后即可编辑】 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 5 OF 58 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 文件名稱 投標設計竣工 階段階段階段 (3份)(5份)(5份) XXX 6. 焊 接 設 備 清 單 (Equipment list) 7. 設 備 及 材 料 型 錄 及 資 料 (Vendor’scatalogsand inationtosupporthis quotation, including electrical system & I/C system) 8. 儀 表 安 裝 詳 圖 (Instrument installation drawing) 9. 送 審 文 件 清 單 及 時 程 (Transmittal list and schedule) 10. 品 質 管 制 程 序 書 (Quality control procedure) 11. 工地辦公室及物料暫存區需 求(Site office and warehouse requirements) 12. 驗 收 及 測 試 計 劃 / 報 告 (Inspection&test plan/reports) 13. 製造商測試報告 (Manufacture’sinspection & test reports/records) 14. 計算書 calculations) (Contractor’s XXX X X X X X XX XX X X X X X15. 管線配置圖 (Pipe routing plan) 【最新整理,下载后即可编辑】 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 6 OF 58 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0