二次配工程规范完整资料

中緯積體電路寧波有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE 1 OF 58 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 【最新整理，下载后即可编辑】 中緯積體電路中緯積體電路 寧波寧波 新建工程新建工程 氣體管線二次配工程規範氣體管線二次配工程規範 【最新整理，下载后即可编辑】 中緯積體電路寧波有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE 2 OF 58 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 CONTENTSCONTENTSPAGESPAGES 1. 1.目的目的 2. 2.範圍範圍 3. 3.文件送審文件送審 4. 4.施工說明施工說明 5. 5.其他說明其他說明 6. 6.驗收標準驗收標準 7. 7.保固期限保固期限 【最新整理，下载后即可编辑】 3 3 3 3 4 4 6 6 1313 1414 1717 中緯積體電路寧波有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE 3 OF 58 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 1.1. 目的目的 為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護Hook Up 二次配管施工之品質及作業安全 。本規範如有任何疑慮依業主 及總顧問公司解釋為準。 2.2. 範圍範圍 2.1. 製程設備氣體管線 Hook-up 工程材料採購及管路安裝； Hook-up 範圍，GN 2、PN2、PO2、CDA 自主管預留閥至 機台內部接點含支管，PH 2、SiH4、SiH4/N2 由氣體站氫 氣純化器出口及 SiH 4、SiH4/N2 氣瓶櫃出口接至機台含 VMB，其他特殊氣體自位於氣體房或 Subfab 之氣瓶櫃/ 架至機台內部接點含 VMB/VMP，其中必要的管線、管 件及焊接所需氣體，均由承包商負責提供。GN 2、PN2、 PO 2 各支管位置及預留take-off 閥尺寸及數量，請參 照 ”FAB 棟 一 層 大 宗 氣 體 二 次 配 平 面 圖 ” 圖 號 SP-211；各 VMB/VMP 位置，請參照”FAB 棟一層特殊 氣體二次配平面圖”圖號 SP-212；氣體站至 FAB 間氣 體管線，請參照”氣體站至 FAB 棟氣體二次配管線平面 圖”圖號 SP-234；GN 2、PN2、PO2、CDA 自 take-off 閥 至機台間所需裝設之閥件，請參照” SP-2 二次配管詳 圖”圖號 SP-231；而 take-off 閥及 VMB/VMP 與機台銜 接點等相關資料，請參照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二 ”Specialty gas VMB/VMP list”及附件 三”CDA take-off list”。承包商需根據該表資料，設計至 機台管線之路徑。 前項氣體管線 Hook-up 工程之管路細部設計、施工圖繪 製、ISO 圖繪製Auto 2000 或以上版本圖檔予顧問及業 主、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材 2.2. 【最新整理，下载后即可编辑】 中緯積體電路寧波有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE 4 OF 58 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 料存放及廢料清潔等雜項工程。其中施工圖及ISO 圖 面，需依照機台用量流程圖PID及機台設備外觀圖繪 製，並配合材料明細表供業主確認。 2.3. 本項工程為連工帶料施工，並包含施工中所需之施工工 具、施工設備、無塵服、安全防護器具、管支撐及雜項 消耗等，均由承包商負責。 配合”二次配工程說明” 規範標號 NS-SP001要求所需 各項雜項費用。 所有管路標示，管路標示依照”二次配工程說明”辦理。 所有管路防震固定支撐架之安裝定位。 高架地板開孔及收邊之工程發包、請款，切割區域管理。 氣體站至 FAB 間管線所需管橋由業主提供，承包商需負 責依業主指示規劃氣體管線路徑，並負責安裝所需管夾 等固定裝置。 2.4. 2.5. 2.6. 2.7. 2.8. 3.3. 文件送審文件送審 文件名稱 投標設計竣工 階段階段階段 3份5份5份 X X X X X X X X X X X 1. 報價表Quotation 2. 專案組織表Project organization 3. 專 案 執 行 時 程 表 Project schedule 4. 工程界面清單及位置圖List location of tie-in point 5. 系統管儀圖 PIDs 【最新整理，下载后即可编辑】 中緯積體電路寧波有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE 5 OF 58 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 文件名稱 投標設計竣工 階段階段階段 3份5份5份 XXX 6. 焊 接 設 備 清 單 Equipment list 7. 設 備 及 材 料 型 錄 及 資 料 Vendor’scatalogsand inationtosupporthis quotation， including electrical system I/C system 8. 儀 表 安 裝 詳 圖 Instrument installation drawing 9. 送 審 文 件 清 單 及 時 程 Transmittal list and schedule 10. 品 質 管 制 程 序 書 Quality control procedure 11. 工地辦公室及物料暫存區需 求Site office and warehouse requirements 12. 驗 收 及 測 試 計 劃 / 報 告 Inspectiontest plan/reports 13. 製造商測試報告 Manufacture’sinspection test reports/records 14. 計算書 calculations Contractor’s XXX X X X X X XX XX X X X X X15. 管線配置圖 Pipe routing plan 【最新整理，下载后即可编辑】 中緯積體電路寧波有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE 6 OF 58 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0