川宝曝光机维修手册-A

目錄目錄 1 1、、前言前言 .…………………………………………………………………………. .…………………………………………………………………………4 4 1.1 各部位機構及位置簡介 1.2 門板拆解之步驟 2 2、、CCDCCD 移載機構移載機構……. .……………………………………………………………………………………………………. .………………………………5 5 2.1 CCD 攝影機動作異常處理步驟 2.2 CCD 攝影機之上下動作線性滑軌，移動不順暢 2.3 感應器檢知逾時 2.4 紅色環燈光源 2.5 CCD 影像消失出現 GRAB WAITING 字樣 2.6 CCD 鏡頭清潔 3 3 、、 移載平台移載平台. .…………………………………………………………………………………… …………………………………………. .……………………7 7 3.1 框架開啟不順暢 3.2 框架上下交換不順暢 3.3 傳動皮帶斷裂處理 3.4 傳動馬達檢修作業方法 3.5 傳動馬達更換步驟 4 4、電控元件、電控元件 .………………………………………………………………………………………………. .…………………………. .….……….….……….1010 4.1 溫控器 4.2 電子式真空表 4.3 變頻器 4.4 12V、24V、45V 電源供應器 4.5 電磁閥總成 4.6 繼電器總成 4.7 半導體專用日光燈 4.8 檯面控制按鈕與開關 4.9 時間電繹 5 5 、、 感應元件感應元件…………………… …………………………………………………………………………………………………………………… .…1.…16 6 5.1 能量感應器 5.2 反射鏡開關感應器 5.3 快門開關感應器 5.4 I/O 的查修 6 6、、燈室組件與問題的查修燈室組件與問題的查修………………………………………………………………………………………………………………. .……1717 6.1 燈室快門 6.2 燈管無法點亮與點燈器有關之原因 6.3 電源供應器無供電 6.4 斷電開關過載 7 7、溫度與冷卻裝置異常、溫度與冷卻裝置異常 ……………….………………………………….….…1……………….………………………………….….…18 8 7.1 曝光室溫度異常 7.2 燈室溫度異常 7.3 燈室下方風扇檢查 8 8、冷卻裝置、冷卻裝置………… …………………………………………………………………1…………………………………………………………………16 6 8.1 冰水機檢查 8.2 冰水溫度過高 8.3 指示燈與訊息 9 9、故障訊息、故障訊息.………… …………………………………………………………………………………………………………………………………….17.17 1 1、前言、前言 1.1 各部位機構及位置簡介 操作面板 冷卻循環機構 燈室 CCD 影像 移載機構 曝光室 配電盤 附註：文章內的左右側是以面對機台為標準，面對機台右手邊為右側，左手邊為左側。 1.2 門板拆解之步驟 A.將圖面門板鎖『○』處按下B.按下後：門板鎖會彈起 C.彈起後左側的門板鎖向『順時針』方向旋轉，右側則向『逆時針』旋轉即可打開 2 2、、CCDCCD 移載機構移載機構 2.1 CCD 攝影機動作異常的處理步驟： 2.1.1 先將 9P DC 接頭拔除避免驅動器警示燈誤判。 2.1.2檢查API步進馬達驅動器的警示燈為何顏色黃綠 色(正常)；紅色(異常)。 FD A B H C 2.1.3 推動該異常馬達移載機構，感覺馬達有無確實和 移載機構連結。是否有扭力若有指示燈該為黃綠 色，若無指示燈該為紅色，如指示燈未亮則檢查 Driver 是否故障或 DC45V 輸出是否為 45~ 46V， 以及是否有輸出。 2.1.4 API 驅動器若為紅色檢查馬達是 否鬆脫或斷裂，並檢查接頭是否老 化造成接觸不良。 2.1.4 檢查馬達線路是否鬆脫或是損 壞、斷裂而造成動作異常。 2.1.5 檢查馬達軸心是否斷裂或是變形 。 2.1.6 右圖所示之 A~H 為上下互相對應 A 之攝影機步進馬達即 API 驅動器 編號。 H F BCD 2.2 CCD 之上下動作線性滑軌，移動路徑不順暢 2.2.1 檢查該軸線性滑軌上是否有異物。 2.2.2 檢查該軸線性滑軌是否已氧化生鏽(若已氧化，需添加油膏以利潤滑)。 2.3 感應器檢知逾時 2.3.1 檢查近接感應器 305.6 與 305.7 是否於正確位置。 2.3.2 檢查近接感應器 305.6 與 305.7 是否正常供電。 2.3.3 檢查近接感應器 305.6 與 305.7 是否故障或損壞。 左 CCD 本體 右 CCD 本體 升降氣缸下限 305.6 升降氣缸下限 305.7 2.4 紅色環燈光源 亮度調整鈕 2.4.1 檢查環型 LED 燈是否故障。 2.4.2 檢查下方電源之 Molex 接頭是否脫落。 2.4.3 檢查 DC12V 電源供應器是否正常供電。 2.4.4 檢查 CR1 繼電器 301.6 是否觸發。 2.5 CCD 影像消失出現 GRAB WAITING 字樣 2.5.1 檢查 DC 12V 是否確實輸入。 電源指示燈 2.5.2 檢查同軸電纜 BNC 接頭是否鬆脫。 2.5.3 檢查 CCD 強波電路板是否故障(指示燈是否熄滅)。 2.5.4 檢查電腦後方 BNC 排線是否脫落。 2.6 CCD 鏡頭清潔 2.6.1 CCD 鏡頭如果不潔，請以乾淨無雜質空氣吹拭。(勿 以氣槍直接噴射) 2.6.2 如果清除完成後，仍發現螢幕上有無法清除之黑 點，請通知本公司客服人員幫忙清除。 CCD鏡頭吹拭處 3 3、移載平台、移載平台 3.1 框架開啟不順暢 3.1.1 檢查主氣源壓力是否為 0.5~0.6Mpa。 3.1.2 檢查框架開啟氣缸壓力是否為 0. 5Mpa。 3.1.3 檢查氣密膠條壓力是否為 0.04~0.05Mpa。 上框壓力介於 0.04~0.05Mpa 下框壓力介於 壓力值 0.5Mpa 0.04~0.05Mpa 3.1.4 檢查隱藏視窗中之”框架設定”是否為: 真空關閉後，框架吹氣持續時間 3000ms 框架開啟前，框架吹氣持續時間 0ms 上框(開啟時間)(關閉時間) 3000ms 2000ms 上框(開啟時間)(關閉時間) 3000ms 2000ms 3.1.5 檢查氣缸是否有漏氣之情況，或是下方之調壓閥有無鬆動之情況。 開啟氣缸開啟氣缸 3.1.6 檢查框架下方之兩個開關框感應器調整是否正確。(感應器上之綠色燈為關框，橘色則為 開框，左側為上框右側則為下框) 下框開框感應器上框開框感應器 3.2 框架上下交換不順暢 ： 3.2.1 檢查框架軌道黃油份量是否足夠，如果不足取黃油槍至注油嘴注入黃油即可。 3.2.2 檢查框架軌道上是否有異物，清除軌道上異物、並添加潤滑油。 滑輪3.3 傳動皮帶斷裂處理 3.3.1 將滑輪鬆開(如右圖示)，拆下上 下框壓板取下皮帶。上框減速位置 3.3.2 更換新皮帶、並將壓板固定。306.0 3.3.3 先將下框架移至下框停