RFCO2激光电源类别与原理_百度文库讲解
RF CO2RF CO2 激光电源类别与原理激光电源类别与原理 1 1 引言引言 自 1973 年第一台射频(RF)波导激光器问世至今已 26 年多。最初是将线圈 绕在波导上,实现了 RF 激励波导激光器的发光。它首次显示了低电压激励的优越 性。那时,还有许多不完善的地方。存在的主要缺点是:放电不均匀,耦合效率 差、线圈电感太大,限制 RF 频率的提高,只能在几 MHz 以下工作等。 尽管已有 26 年多的研制、使用历史,但当前它仍处于发展与改进阶段。其总 的研制方向是:降低成本、增长寿命、提高输出功率和效率、减小体积和质量, 改进可靠性,提高各项性能指标,以适应各种用途的需要。 RFCO2 激光器工作频率按 ISM 规定为 27~40MHz;其主要分类如下所述: (1)按输出方式分 1)连续输出; 2)脉冲输出——调制频率高达 1MHz; 3)Q 开关输出——电光调 Q 与声光调 Q。 (2)按谐振腔的工作分 1)波导腔——孔径 D=1~3mm; 2)自由空间腔——孔径 D=4~6mm。 (3)按激励极性分 1)单相; 2)反相。 (4)按腔体结构分 1)单腔; 2)多腔; (a)折叠腔:V 型——2 折;Z 型——3 折;X 型——4 折。 (b)列阵腔:短肩列阵;交错列阵。 (c)积木式:并联—2 腔;三角组联—3 腔。 3)大面积放电 (a)平板型,(b)同心环型。 (5)按均恒电感分布方式分 1)准电感谐振技术—用于低电容激光头; 2)平行分布电感谐振技术—用于高电容激光 头。 (6)按谐振腔材料分 1)陶瓷—金属混合型;2)全陶瓷型;3)全金属型。 (7)按冷却方式分 1)空气冷却;2)水冷却。 (8)按封装方式分 1)封离型;2)流动型。 谐振腔的材料一般为:金属—A1。陶瓷—BeO,BN、AIN、Al2O3 等。 2 2 技术条件技术条件 用于 CO2 激光器的典型工作气体内含有:二氧化碳、氮、氦和氙。氮气和氦 气有利于放电的均匀性。氙气对 RF 放电激光器的功率和效率具有积极影响。添加 5%氙气可使功率提高 24%。 通常单模结构器件,单位长度注入的连续(射频)激励功率限于 2~6W/cm, 转换效率为 10%~20%,对激光电源的一般要求为:稳定可靠、维修方便、效率 高、尺寸小、成本低。 具体技术条件如下: 输入参数:交流输入电压 220V;交流输入电流 1.5A;开关电源输出直流电压 30V;开关电源输出电流 8A。 RF 电源:输入功率 160W;工作频率 40MHz;输出波形正弦波;带宽 △f±3MHz;效率 70%。 调制器:脉冲调制频率 0~100kHz 方波连续可调;占空比连续可调;幅度调 制度 100%。 3 3 原理电路原理电路 RFCO2 激光电源由 5 部分组成[1],如图 1 所示。 图 1 RF CO2 激光器电源原理框图 图 1 中第 1 部分为整流滤波电路,采用全波桥式整流与电容滤波将 220V 交流 变为 311V 平滑直流。第 2 部分为开关电源,将 311V 直流变为 100kHz 脉冲电流, 再经电容、电感滤波后变为 30V、8A 直流。第 3 部分包括由振荡器与放大器两部 分组成的 RF 电路(如虚线框内所示)。将输入直流经晶振变为 40MHz,6W 射频。 再经 14.28dB 增益的放大器,放大后输出为 40MHz,160W。第 4 部分为脉冲工作的 调制器。第 5 部分为匹配网络。 本文将重点介绍第 3 部分和第 4 部分。电路如图 2 所示。振荡器由晶体管 V2、电感线圈 L1、电容器 C5、C7、电阻 R11、R12、石英晶体振荡器 G 等组成。晶 体振荡电路产生 6W、40MHz 正弦振荡波,经 3:1 传输线变压器 T,推动推挽功率 放大器。推挽功率放大器由晶体管 V3、V4,电感 L3、L2,电阻器 R13、R14、 R15,电容器 C9、C10 和变压器 T 组成 D 类电流开关推挽放大器,两个晶体管轮流 导通。为了追求小型化,提高效率是关键,因而采用 D 类电流开关推挽放大器是 一种必然结果。这一点可由下述工作过程的分析清楚地看出。 当晶体管导通时,C 极电流的基波分量为最大,回路中点电压也等于最大值 Umax,在中心点处的电压平均值等于电源电压。因此(当 UCC≈30V 时), 由此得出: Umax=(π /2)(UCC-UCS)+UCS(2) C 极回路两端交流电压峰值为: UCmax=2(Umax-UCS)=π (Ucc-Ucs)(3) 基波分量振幅为:(2/π )ICC,因而回路产生基频电压振幅为: UCmax=(2/π )ICCR(5) 将(3)式代入(5)式即得: ICC=π UCmax/2R=(π 2/2R)(UCC-UCS)(6) 则输出功率: P0=U2Cmax/2R=(π 2/2R)(UCC-UCS)2(7) DC 输出功率: PDC=ICC.UCC=(π 2/2R)(UCC-UCS)UCC(8) C 极耗散功率: PC=PDC-P0=(π 2/2R)(UCC-UCS)UCS(9) 由此得出 C 极效率: η C=P0/PDC=(UCC-UCS)/UCC(10) 可见,晶体管饱和压降 UCS 越小、效率 η C 则越高,若 UCS→0,则 η C→100%,这是 D 类电流开关推挽放大电路的优点,为此设计 时应注意尽量选取饱和压降低的功率晶体管。 脉冲工作由图 1 中第 4 部分调制器控制。调制器的原理电路见图 2,它以 IC1 与 IC2 为主体,组成幅度键控调制器,属于数字信号调幅的线性调制器[3]。连 续工作时,将图 2 中 S 开关置于 OFF 关断位置。脉冲工作时,将 S 开关置于 ON 接 通位置。脉冲调制的工作过程是:利用一个矩形脉冲序列的基带信号对振荡器晶 体管 V2 的振荡幅度进行控制。由控制振荡电路的起振与停振达到调制的目的。由 电位器 RP4 控制调制频率,由 RP7 控制脉冲宽度。所以,调制频率与调制脉宽皆 可作到连续可调。 图 2RF 电路原理图 第 5 部分是阻抗匹配网络。负载阻抗匹配的目的是消除不匹配负载的反射。 方法是引入电抗性元件(电容、电感或传输线)。人为地产生一个或数个反射 波。使它与原来不匹配负载产生的反射波相互抵消。使激光器的输入阻抗与 RF 电 源的输出阻抗互为共轭复数。匹配网络一般分为两种,一种是集总参数匹配网 络,其主要形式有 L 型、T 型、π 型等[3]。这种匹配网络的主要缺点是:插入 耗损大、噪声大、体积大。另一种是分布参数匹配网络,是 1/4 波长传输线,这 就克服了上述集总参数匹配网络的缺点。它的理论关系比较简单。由传输线任一 点上的电压和电流方程即可方便地导出下列 1/4 波长(或 1/4 波长奇数倍)阻抗 交换方式为:Z0=(10) 式中 Z1——电源输出的阻抗; Z2——激光器输入的阻抗; Z0——1/4 传输线的特性阻抗。 1/4 传输线采用 SYV-50-3 电缆。它一端接电源,另一端接激光头。该 RF 电 源如作积木式结构应用,同时可满足输出激光 30W,60W 等激光器的需要。 4 4 结束语结束语 最后是关于激光头的准