洁净度检测规范

洁净度检测洁净度检测 1 1、洁净度的测定、洁净度的测定. . 测定可分为空态、静态和动态。空态是指洁净室已竣工测定可分为空态、静态和动态。空态是指洁净室已竣工 , ,空调系统已处于正常空调系统已处于正常 运行状态运行状态, ,试验调整工作结束并符合要求试验调整工作结束并符合要求, ,室内无生产设备和工作人员状态下进行室内无生产设备和工作人员状态下进行 的测定。静态是指空调系统已处于正常运行状态的测定。静态是指空调系统已处于正常运行状态, ,试验调整工作结束并符合要求试验调整工作结束并符合要求, , 室内生产设备已安装室内生产设备已安装, ,无工作人员状态下进行的测定。无工作人员状态下进行的测定。 动态是指洁净室已处于正常动态是指洁净室已处于正常 生产状态下进行的测定。生产状态下进行的测定。 对于新建的洁净室竣工验收对于新建的洁净室竣工验收, ,应进行空态或静态测定。应进行空态或静态测定。 而综合性能的全面评价而综合性能的全面评价 是指在动态条件下测定是指在动态条件下测定, ,是由建设单位负责是由建设单位负责, ,设计、施工单位配合。设计、施工单位配合。 洁净工工作区空态或静态条件下的空气洁净度测定内容：洁净工工作区空态或静态条件下的空气洁净度测定内容： (1)(1) 测点布置测点布置 在工作区内选择具有代表性的测点。同时为了便于对空气洁净系统的洁净在工作区内选择具有代表性的测点。同时为了便于对空气洁净系统的洁净 效果进行技术分析效果进行技术分析, ,还应在回风口、走廊及室外布置测点。还应在回风口、走廊及室外布置测点。 工作区测点的布置工作区测点的布置一般距离地面一般距离地面 0.8~1m0.8~1m 为宜。为宜。 测点个数的最低限度如下测点个数的最低限度如下 表表 测点数测点数 NNL L2 23 34 45 56 67 78 89 91010 90.190.1 ~ ~ 110.110. 0 0 洁净区面洁净区面 积积 A/mA/m2 2 2.12.16.16.112.112.120.120.130.130.142.142.156.156.172.172.1 ~ ~~ ~~ ~~ ~~ ~~ ~~ ~~ ~ 6.06.012.012.020.020.030.030.042.042.056.056.072.072.090.090.0 注注:1.:1.在水平单向流时在水平单向流时, ,面积面积 A A 为气流方向呈垂直的流动空气截面的面积为气流方向呈垂直的流动空气截面的面积. . 2.2.最低限度的采样点数最低限度的采样点数 NNL L按公式按公式 NNL L=A=A0.5 0.5计算计算( (四舍五入取整数四舍五入取整数). ). 测点的布置测点的布置: : 布置在工作区的对角线位置布置在工作区的对角线位置, ,也可布置在两个高效过滤器之间或也可布置在两个高效过滤器之间或 认为需要布置测点的其他部位认为需要布置测点的其他部位. .水平单向流洁净室的测点应布置在第一工作区内水平单向流洁净室的测点应布置在第一工作区内. . ➢ 回风口的测点布置回风口的测点布置回风口的测点布置在有代表性的回风口处回风口的测点布置在有代表性的回风口处. . ➢ 走廊的测点布置走廊的测点布置 走廊的测点应布置在走廊的中段距地面走廊的测点应布置在走廊的中段距地面1m1m 处处. . ➢ 室外的测点布置室外的测点布置 室外的测点应布置在系统的新风口或大门口距地面室外的测点应布置在系统的新风口或大门口距地面 1m1m 以以 上具有代表性的部位上具有代表性的部位. . (2)(2)采样和采样量采样和采样量 洁净度测量中洁净度测量中, ,采样和采样量直接影响测定结果的准确性。采样和采样量直接影响测定结果的准确性。 1)1)采样采样所用的采样管必须处理干净所用的采样管必须处理干净, ,与粒子计数器和采样器连接处必须严与粒子计数器和采样器连接处必须严 密无渗漏。密无渗漏。采样管的长度控制在采样管的长度控制在 1.5m1.5m 范围内。范围内。采样管的流速采样管的流速, ,要与洁净室断面风要与洁净室断面风 速相接近速相接近, ,使之成为等动力流速采样。对于大流量粒子计数器使之成为等动力流速采样。对于大流量粒子计数器 , ,为了降低采样管的为了降低采样管的 进口空气速度能维持在进口空气速度能维持在 0.5m/s0.5m/s 左右左右, ,应配以采样头应配以采样头, ,否则将会出现灰尘微粒计数否则将会出现灰尘微粒计数 偏低现象。如粒子计数器无配套的采样器时偏低现象。如粒子计数器无配套的采样器时 , ,可按下式计算自行制作一个异径管可按下式计算自行制作一个异径管 ( (大小头大小头) ) D=(q/0.047vD=(q/0.047vo o) )0.5 0.5 式中式中 D_____D_____异径管头内径异径管头内径(mm);(mm); Q_____Q_____采样量采样量(L/min);(L/min); V Vo o__________气流速度气流速度(m/c).(m/c). 测定人员采样时应在采样口下风侧测定人员采样时应在采样口下风侧 , ,防止身上的灰尘微粒散发到采样口周围防止身上的灰尘微粒散发到采样口周围 , , 影响测定数据的真实性影响测定数据的真实性, ,而且工作人员不宜超过而且工作人员不宜超过 3 3 人。人。 为提高粒子计数量测量的正为提高粒子计数量测量的正 确性确性, ,应从含尘浓度高的洁净室进行测定。如对室外的含尘浓度进行测定时应从含尘浓度高的洁净室进行测定。如对室外的含尘浓度进行测定时 , ,粒子粒子 计数器的气路系统必须与稀释器连接计数器的气路系统必须与稀释器连接, ,保证计数器的正常工作。保证计数器的正常工作。 2).2).采样量采样量不同洁净度级别的洁净室不同洁净度级别的洁净室, ,其采样量是不同的其采样量是不同的, ,采样量涉及到粒子采样量涉及到粒子 计数器的采样量和采样时间计数器的采样量和采样时间, ,关键是粒子计数器的采样速率。现行的关键是粒子计数器的采样速率。现行的中规定中规定, ,粒子计数器应使用采样流率大于粒子计数器应使用采样流率大于 1L/min,1L/min,小的采样流率的粒子小的采样流率的粒子 计数器用于单向流洁净室计数器用于单向流洁净室(5(5 级以上级以上), ),其测量的结果误差较大其测量的结果误差较大, ,即使采用延长采样即使采用延长采样 时间提高采样量也消除不了测量误差。因此时间提高采样量也消除不了测量误差。因此, ,对于单向流洁净室的洁净度测定对于单向流洁净室的洁净度测定, ,应应 采用采样流率为采用采样流率为 2.83L/min2.83L/min 的粒子计数器比较适宜。不同级别的洁净室每次采的粒子计数器比较适宜。不同级别的洁净室每次采 样的最小采样量应符合下表所列的数量。样的最小采样量应符合下表所列的数量。 每次采样的最少采样量每次采样的最少采样量 V Vs s 洁洁 净净 度度 级级 别别 读读 1 1 2 2 3 3 4 4 5 5 6 6 7 7 8 8 9 9 20002000 200200 2020 2 2 2 2 2 2 ---------- ----------