SJ_T 11874-2022 电动汽车用半导体分立器件应力试验程序

ICS 31.080 CCS L 40 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 SJ/T 11874—2022 电动汽车用半导体分立器件应力试验程序 Stress test procedure for discrete semiconductor in electric vehicle 2 0 2 2 - 1 0 - 2 0 发 布 2023-01-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 SJ/ T 11874—2022 目 次 前言 III 1 范 围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 I SJ/T 11874—2022 前 言 本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。 本文件附录A、附 录B 为规范性附录，附录C 为资料性附录。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由工业和信息化部电子第四研究院归口。 业应用联盟。 III SJ/T 11874—2022 电动汽车用半导体分立器件应力试验程序 1 范围 本文件描述了电动汽车用半导体分立器件(以下简称器件)的分级及最低应力试验程序(用于应力 试验程序组成器件检验方案)。 本文件适用于指导制定电动汽车用半导体分立器件检验方案的确定。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的款其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的顺本适用于太文件。不津日期的引用文件，其最断版本(包括所有的修改单) 适用于本 文件。 GB/T/4937+19 95 半导体器件机械和气候试验方法 GB/46az 42012半导体器件机械和气候试验方法第4部分：强如速稳态湿热试验(HAST) GJB 128 半导体分立器件试验方法 GE 4027 车 用电子元器件破坏性物理分析方法法 3术语和 本文 件 没 要 界定 的术语和定义。 4 要求 4.1 总则 本文件中的试验项目是基于目前已知的半导体分立器件失效和理而确定的，可按本文件要求制定 半导体分立器件的检验力案。满足木文件要求并通过本文件所规定的应力试验的器件可视为具备相应 等级的质量和可靠性水平。 使用本文件制定相应的检验方案时，应结合器件自身结构属性(工艺和结构),确定器件适用的试 验项目，并考虑以下内容： a) 任何潜在新颖的和特有的失效机理； b) 任何使用中不会发生但试验程序或条件本身可能会导致失效的情况； c) 任何极端使用或过度应力条件导致试验加速过程降低的情况。 4.2 工作温度等级 器件工作温度等级规定如下： a) 等级0:工作环境温度范围-40℃~125℃; b) 等级1:工作环境温度范围-40℃~85℃。 1 SJ/T 11874—2022 4.3 通用数据/结构相似性使用原则 4.3.1 通用数据 提倡使用通用数据简化检验方案，包括减少试验项目、降低抽样数量等，附录 A 给出了结构相似 性的判定准则和使用程序，符合判定准则的一系列器件形成具有结构相似性的器件组，该器件组内所有 型号器件的数据组成通用数据，并可用于后续器件的试验评价。在制定检验方案时，只要证明技术合理 (试验数据足以支撑),可采用两个或更多的器件组共同完成试验。如果通用数据包含任何已发现或可 预期的器件失效，该数据就不能继续作为通用数据使用，除非供应商能证明针对失效采取了纠正措施并 实施有效，而且已经得到用户的批准。 4.3.2 通用数据的使用 通过使用通用数据，可以积累器件组内通用的可靠性数据信息。这些信息能够用来描述一个器件组 的通用可靠性，并减少组内具体型号器件的试验项目。使用通用数据时应遵循以下的原则：使用最大包 络参数器件进行试验或测试，例如“最大范围(四角)”系列(如最高/最低电压，最大/最小器件体积 等),则该组内后续可纳入该范围的具有结构相似性的器件可使用这些数据。有效的通用数据应来自具 备相应资质或经认可的试验机构或实验室，也可来自供应商内部试验或测试(需经过评估),基本结构 或标准单元的特性分析、试验或测试，用户特定试验或测试，以及供应商在线过程监控。 在制定具体型号的检验方案时，所提交的通用数据必须达到或严于规定温度等级要求的试验条件。 且至少对一个批次的器件完成电测试，电测试温度必须覆盖器件工作温度等级所规定的温度范围。当检 验方案采用通用数据对一个批次器件进行试验，试验出现失效，则该批次器件判为不合格。而当不采用 通用数据时，需要对三个批次器件进行试验，试验出现失效，则该三个批次器件均判为不合格。用户有 权利批准是否接受通用数据来代替实际试验。 使用通用数据完成试验的批次要求按表1规定。 表1 试验批次要求 器件信息 检验批次要求 新器件，无适用的通用数据 按表2规定的批次和样品要求(适用时，间歇寿命或功率 温度循环试验时间要求见表3) 试验合格器件组覆盖范围内的新器件。新器件比已试 验合格器件结构简单，满足附录A的结构相似性规定 仅进行4.2规定的器件特定试验。对需要开展的试验项目 按表2规定的批次和抽样要求 有部分通用数据的新器件 按附录A确定表2中要求的试验项目。批次和抽样要求按 表2的规定 器件工艺更改 按表4确定表2中要求的试验项目。批次和抽样要求按表 2的规定 包括多个场所的试验 按附录A.4 包括多个器件组的试验 按附录A.4 4.3.3 通用数据的有效期 自试验提交日期之前三年内的通用数据可在即将开始的检验过程中使用，此数据必须取自按照附 录 A 规定的实际器件或同类试验合格器件组中的器件，包括任何用户或供应商的特定试验数据、工艺 更改试验数据、周期性工艺可靠性监控数据(见图1)。 2 SJ/T 11874—2022 当 前 用户#1 工艺更改 试 验 特定试验 周期性工艺可 靠性检测数据 试验数据+工艺更改试 验数据+周期性工艺可 靠性检测数据=可接受 通用数据 过 去 用户#1 特定试验 内 部 器 件 供 应 商 供 应 商 工艺更改 试验 特 性 分 析 内 部 试 验 开始生产 某些工艺更改(如工艺特征尺 寸 ) 可 能毕响通用收据的使用，更改前的数据将不可作为通用数据使用 图1通用数据有效性时间 4.4 试验样品 4.4.1