电子工厂特种气体

目目次次 1.1. 总总则则 1 1 2.2. 基本规定基本规定 . . 2 2 3.3. 特种气体配送设施设计特种气体配送设施设计. . 3 3 3.1 特种气体站房 3 3.2 特种气体工艺系统 3 3.3 特种气体管道输送系统 4 3.4 生命安全系统 4 4.4. 化学品配送设施设计化学品配送设施设计 6 6 4.1 化学品站房 6 4.2 化学品供应及回收系统 7 4.3 化学品监控及安全系统 7 5.5. 配套设施设计配套设施设计 . . 9 9 5.1 建筑与结构 9 5.2 给水排水与消防 9 5.3 采暖通风与空气调节. 10 5.4 电气与防雷. 11 6.6. 施工与验收施工与验收 1212 6.1 一般规定. 12 6.2 特种气体系统工程施工与验收. 12 1 6.3 化学品系统工程施工与验收. 13 7.7. 运行与维护运行与维护 1414 7.1 一般规定. 14 7.2运行与维护 14 8.8. 废弃与拆除废弃与拆除 1616 8.1一般规定 16 8.2 特种气体设施的拆除. 16 8.3 化学品设施的拆除. 17 起草说明起草说明 错误未定义书签。 2 1.1.总总则则 1.0.11.0.1为了在电子工厂特种气体和化学品配送设施的设计、施工与为了在电子工厂特种气体和化学品配送设施的设计、施工与 验收、验收、 运行与维护、运行与维护、 废弃与拆除工程中保障人身健康和生命财产安全、废弃与拆除工程中保障人身健康和生命财产安全、 生态环境安全，生态环境安全， 满足经济社会管理的基本要求，满足经济社会管理的基本要求， 依据有关法律、依据有关法律、 法规、法规、 技术措施制定本规范。技术措施制定本规范。 1.0.21.0.2新建、扩建和改建的电子工厂特种气体和化学品配送设施的新建、扩建和改建的电子工厂特种气体和化学品配送设施的 设计、设计、 施工与验收、施工与验收、 运行与维护、运行与维护、 废弃与拆除工程中必须遵守本规范。废弃与拆除工程中必须遵守本规范。 1.0.31.0.3当电子工厂特种气体和化学品配送设施在设计、当电子工厂特种气体和化学品配送设施在设计、 施工与验收、施工与验收、 运行与维护、运行与维护、 废弃与拆除工程中采用的技术措施与本规范的规定不一废弃与拆除工程中采用的技术措施与本规范的规定不一 致，经过合规性评估符合本规范的基本规定时，应允许使用。致，经过合规性评估符合本规范的基本规定时，应允许使用。 1.0.41.0.4电子工厂特种气体和化学品配送设施的设计、施工与验收、电子工厂特种气体和化学品配送设施的设计、施工与验收、 运行与维护、运行与维护、 废弃与拆除工程中除应符合本规范的规定外，废弃与拆除工程中除应符合本规范的规定外，尚应符合尚应符合 国家现行有关规范的规定。国家现行有关规范的规定。 1 2.2.基本规定基本规定 2.0.12.0.1电子工厂特种气体和化学品配送设施的施工与验收、运行与电子工厂特种气体和化学品配送设施的施工与验收、运行与 维护、维护、 废弃与拆除时，废弃与拆除时， 主体部门应建立系统的安全评估和风险管理制主体部门应建立系统的安全评估和风险管理制 度，消除安全事故隐患。度，消除安全事故隐患。 2.0.22.0.2电子工厂特种气体和化学品配送设施的设计、施工与验收、电子工厂特种气体和化学品配送设施的设计、施工与验收、 运行与维护、运行与维护、 废弃与拆除中涉及的压力容器、废弃与拆除中涉及的压力容器、 压力管道等特种设备应压力管道等特种设备应 符合国家有关特种设备监察管理规定的要求。符合国家有关特种设备监察管理规定的要求。 2.0.32.0.3特种气体和化学品生产储存单元应进行重大危险源辨识，危特种气体和化学品生产储存单元应进行重大危险源辨识，危 险化学品重大危险源的设计、险化学品重大危险源的设计、 施工与验收、施工与验收、 运行与维护应符合国家有运行与维护应符合国家有 关重大危险源监管的规定要求。关重大危险源监管的规定要求。 2.0.42.0.4特种气体和化学品配送设施达到设计使用年限或遭遇重大事特种气体和化学品配送设施达到设计使用年限或遭遇重大事 故、故、灾害后，灾害后，必须对其进行安全及其它性能进行验证与评估，必须对其进行安全及其它性能进行验证与评估，合格后合格后 方能继续使方能继续使 ZBZB 土建设计室用。土建设计室用。 2.0.52.0.5特种气体和化学品配送设施设特种气体和化学品配送设施设 v v 加加 shejiyuan8shejiyuan8 计、计、 施工与验施工与验 收、收、运行与维护、运行与维护、废弃与拆除工程中应采取技术措施减少污染，废弃与拆除工程中应采取技术措施减少污染，对产对产 生环境污染的废气、废液、固体废物进行处理。生环境污染的废气、废液、固体废物进行处理。 2.0.62.0.6特种气体和化学品配送设施的设备和管道应有标识，在施工特种气体和化学品配送设施的设备和管道应有标识，在施工 与验收、运行维护、废弃与拆除等场所应设置明显的安全警示标识。与验收、运行维护、废弃与拆除等场所应设置明显的安全警示标识。 2.0.72.0.7电子工厂涉及的剧毒化学品、易制爆化学品、易制毒化学品电子工厂涉及的剧毒化学品、易制爆化学品、易制毒化学品 配送设施的设计、配送设施的设计、 施工与验收、施工与验收、 运行与维护应符合国家管理规定的要运行与维护应符合国家管理规定的要 求。求。 2.0.82.0.8输送可燃气体和甲、乙类液体的管道穿过防火隔墙时，应采输送可燃气体和甲、乙类液体的管道穿过防火隔墙时，应采 用不燃烧体材料填塞空隙。用不燃烧体材料填塞空隙。 2.0.92.0.9特种气体和化学品系统设备、管道、管件应选择与介质性质特种气体和化学品系统设备、管道、管件应选择与介质性质 相容的材料、并根据工艺生产要求对介质接触面进行处理。相容的材料、并根据工艺生产要求对介质接触面进行处理。 2 3.3.特种气体配送设施设计特种气体配送设施设计 3.13.1特种气体站房特种气体站房 3.1.13.1.1特种气体应按照物理化学特性分类存放，特种气体间的设计特种气体应按照物理化学特性分类存放，特种气体间的设计 应符合下列规定应符合下列规定 1 1特种气体间应设置排风系统，房间应运行在负压状态；特种气体间应设置排风系统，房间应运行在负压状态； 2 2特种气体间用防火隔墙相互隔离；特种气体间用防火隔墙相互隔离； 3 3易燃易爆特种气体间应进行防爆设计。易燃易爆特种气体间应进行防爆设计。 3.1.23.1.2大宗硅烷系统气体设备应布置在独立的开敞式建筑，开敞式大宗硅烷系统气体设备应布置在独立的开敞式建筑，开敞式 建筑应带屋顶遮盖，外墙面的遮挡部分不得大于三面。建筑应带屋顶遮盖，外墙面的遮挡部分不得大于三面。 3.1.33.1.3硅烷站内大宗容器之间以及大宗容器与工艺气体盘之间的距硅烷站内大宗容器之间以及大宗容器与工艺气体盘之间的距 离小于离小于 9m9m 时，应设置时，应设置 2h2h 以上的防火隔断。以上的防火隔断。 3.1.43.1.4硅烷系统气体设备不得建在地下室的室内。硅烷系统气体设备不得建在地下室的室内。 3.1.5