电子工业干净厂房设计规范

电子工业干净厂房设计规范 单向流和混合流干净室（区）的的噪声级（空态）不该大于 65dB（A） ，非单向流干净室 （区）的噪声级（空态）不该大于60dB（A） 。 1 按火灾危险性分类，甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间，或有防火分隔要 求时，应设隔墙； 物料净化用室与干净室（区）之间应设置气闸室或传递窗。 干净室（区）内设置真空泵时，应符合下列规定 1 利用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统； 2 对传输含有可燃气体的真空泵， 可燃气体浓度超过爆炸下限的20时，应设尾气处置 装置，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分； 3 传输易燃、 自燃化学品或高浓度氧气的真空泵， 应采用不燃泵油， 并应配置氮气吹扫。 氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。 干净厂房的耐火品级不该低于二级。 在综合性厂房的一个防火分区内，净生产区域与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔间 设施。 不燃烧体隔间设施应符合现行国家标准 干净厂房设计规范 GB 50073的有关规定。 干净厂房的安全出口的设置，应符合下列规定; 1每一生产层、 每一个防火分区或每一干净室的安全出口数量,应符合现行国家标准 干 净厂房设计规范GB 50073 的有关规定 2安全出口应分散布置,并应设有明显的疏散标志 ;安全疏散距离应符合现行国家标准 建筑设计防火规范GB 50016 的有关规定。安全疏散用门应向疏散方向开启,并应设观 察玻璃窗; 3丙类生产的电子工业干净厂房,在关键生产设备自带火灾报警和灭火装置和回风气流 中设有灵敏度严于obs/m 的高灵敏度初期火灾报警探测系统后,安全疏散距离可按工艺需 要肯定,但不得大于本条第 2 款规定的安全疏散距离的倍。 注对于玻璃基板尺寸大于 1500mm1850mm 的 TFT-LCD 厂房，且干净生产区人 员密度小于人/㎡，其疏散距离应按工艺需要肯定，但不得大于120m。 干净厂房的干净区各层外墙应设置专用消防口，并应符合下列规定 1 干净区各层专用消防口的设计， 应符合现行国家标准 干净厂房设计规范 GB 50073 的有关规定； 2 干净厂房外墙上的吊门、电控自动门和装有栅栏的窗，均不该作为专用消防口。 干净厂房内有爆炸危险的房间应靠建筑外墙布置，且不得与疏散安全口（楼梯间）贴邻。 有爆炸危险的房间的防爆办法、泄爆面积等应符合现行国家标准建筑设计防火规范GB 50016 的有关规定。 干净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度转变时变形小 的材料。 干净室装饰材料及其密封材料不得采用释放对电子产品品质有影响物质的材料。 装 修材料的燃烧性能应符合现行国家标准 建筑内部装修设计防火规范GB 50222的有关规 定。装修材料的烟密度品级不该大于 50，材料的烟密度品级应符合现行国家标准建筑材 料燃烧或分解的烟密度实验方式GB/T8627 的有关规定。 干净室（区）与周围的空间应维持必然的静压差，静压差应符合下列规定 1 各干净室（区）与周围空间的静压差应按生产工艺要求肯定； 2 不同品级的干净室（区）之间的静压差应大于等于5Pa； 3 干净室（区）与非干净室（区）之间的静压差应大于5Pa； 4干净室（区）与室外的静压差应大于10Pa。 空气干净度品级严于8 级的干净室（区）不该采用散热器采暖。 1 应避免室外气流倒灌； 2 含有易燃、易爆物质的局部排风系统应按其物理化学性质采取相应防火防爆办法； 4 对含有水蒸汽或凝结物质的排风系统，应设置坡度及排放口； 5 排风介质中含有剧毒物质时，应设置备用排风机和处置设备，并应设置应急电源； 6 排风介质中含易燃、 易爆等危险物质或工艺靠得住性要求较高时， 应设置备用排风机， 并应设置应急电源； 7 排除有爆炸危险的气体和粉尘的局部排风系统，其风量应按在正常运行和事故情况下， 风管内爆炸危险的气体和粉尘的浓度不大于爆炸下限的20计； 8 排除有爆炸危险的气体和粉尘的局部排风系统，应设置消除静电的接地装置。 对排风系统中含有毒性、爆炸危险性物质的排气管路，应维持相对于路由区域必然的负压 值。 干净室（区）事故排风系统的设计，应符合下列规定 1 事故排风区域的换气次数不该小于12 次/h； 2 应设置自动和手动控制开关、 手动控制开关应别离设置在干净室 （区） 和干净室 （区） 外便于操作的地址； 3 应设置应急电源。 干净厂房中的疏散走廊，应设置机械排烟设施。 净化空调系统的风管的防火阀的设置，应符合现行国家标准干净厂房设计规范GB 50073 的有关规定。 含有可燃、有毒气体或化学品的排风管道，不得设置熔片式防火阀。 2 排烟系统的风管应采用不燃材料制作； 3 附件、保温材料和消声材料等均应采用不燃材料或难燃材料。 生产、 生活排水系统应别离设置。 生产排水系统应按照电子产品生产设备排出的废水性质、 污染物浓度和水量等特点肯定。有害废水应经废水处置达到国家或地方排放标准后排放。 干净室（区）内与电子产品生产设备相连接的重力排水管道，应在排出口以下部位设置水 封装置。排水系统应有完善的通气系统。 干净厂房必需设置消防给水系统。消防给水系统的设置应符合现行国家标准建筑设计防 火规范GB 50016 的有关规定。 1 干净室（区）的生产层及上下技术夹层（不含不通行的技术夹层） ，应设置室内消火 栓； 3 寄存可燃气体钢瓶的特气柜中应设置自动灭火设施。 3 不循环支管的长度不该大于管径的6 倍； 4 干管应设置清洗口； 5 管道系统必需密封，不得有渗气现象； 干净室（区）内的可燃气体管道和有毒气体管道应明敷，穿过干净室（区）的墙壁或楼板 处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝，套管与管道之间应采取密封办法。 可燃气体管道和有毒气体管道不得穿过不利用此类气体的房间；当必需穿过时应设套管或 双层管。 2 不得出现不易吹除的“盲管”等死空间； 3 管道系统应设置吹扫口和取样口。 可燃气体管道设置阀门时应设置阀门箱，阀门箱应设置气体泄漏报警和事故排风装， 报警装置应与相应的事故排风机联锁； 3 引至室外的放散管，应设置防雷保护设施； 4 应设置导除静电的接地设施。 气体纯化间（站）或气体入口室内，设有氢气等可燃气体纯扮装置或管道时，气体纯化间 （站）或气体入口室的火灾危险性应按甲类肯定，并应符合下列规定 1 应靠外墙设置，并应设置防爆泄压设施； 2 氢气等可燃气体引入管道上应设置自动切断阀； 3 应具有良好的自然通风，并应设置事故排风装置； 4 应设置气体泄漏报警装置，并应与事故排风装置联锁； 5 应设置导除静电的接地设施。 干净厂房内的氧气管道等，应采取下列安全技术办法 1 管道及阀门附件应经严格的脱脂处置； 2 应设置导除静电的接地设施； 3 氧气引入管道上应设置自动切断阀。 干净厂房内的特种气体的贮存分派间应采用耐火极限不低于不燃烧体的隔墙与干净室 （区） 分隔，隔墙上的门窗应为甲级防火门窗。 1 特种气体钢瓶（含硅烷或硅烷混合物）应设置在具有持续机械排风的特气柜中； 2 排风机、泄漏报警、自动切断阀均应设置应急电源； 3 一个特气分派系统供多