电容式位移传感器地设计

实用标准文案 课课程程设设计计 xxxx xxxx 精彩文档 设计名称设计名称 电容式位移传感器的设计电容式位移传感器的设计_ _ 专业班级专业班级 __ __ 姓姓名名 ____________ ____________ 学学号号 _________ _________ 指导教师指导教师 ______ ______ 年年 xx xx 月月 实用标准文案 目录 一、设计要求 3 二、电容传感器工作特性 3 三、电容传感器的优缺点 3 四、基本原理 3 五、设计分析 4 六、消除和减少寄生电容的影响 5 七、转换电路的设计 6 八、差动放大电路 8 九、相敏检波器系统工作及原理 9 十、心得体会 11 十一、参考文献 12 十二、附录13 精彩文档 实用标准文案 1、设计要求 设计差动变面积式电容位移传感器，要求规定的设计参数。 1、测量范围（mm）01mm； 2、线性度（Fs）0.5； 3、分辨率（μm）0.01； 4、灵敏度（PF/mm） 5、通过理论设计、结构设计、理论分析等过程设计传感器结构和测量电路，画 出结构示意图和测量电路图，并进行参数计算。利用参数和结构来选择合理的 方法消除或减少寄生电容的干扰影响。结合传感器实验平台，确定传感器的静态 灵敏度和线性范围，并设计电容传感器的电子秤应用实验。 2、电容传感器工作特性 电容式传感器具有灵敏度高、精度高等优点。相对与其他传感器来说，电容式 传感器的温度稳定性好，其结构简单，易于制造，易于保证高的精度，能在高 温、低温、强辐射及强磁场等各种恶劣环境条件下工作，适应性强；它的静电 引力小，动态响应好，可用于测量高速变化的参数，如测量振动、瞬时压力等； 它能够实现非接触测量，在被测件不能受力，或高速运动，或表面不连接，或 表面不允许划伤等不允许采用接触测量的情况下，电容传感器可以完成测量任 务；当采用非接触测量时，电容传感器具有平均效应，可以减少工件表面粗糙 度等对测量的影响。因其所需的输入力和输入能量极小，因而可测极低的压力、 很小的加速度、位移等，由于在空气等介质中损耗小，采用差动结构并连接成 桥式电路时产生的零点残余电压极小，因此允许电路进行高倍率放大，使仪器 具有很高的灵敏度，分辨力高，能敏感0.01μm 至更小的位移。本课题采用差动 变面积式电容位移传感器，线性的反映电容和位移的变化关系。 3、电容传感器的优缺点 精彩文档 实用标准文案 优点 1.其温度稳定性好电容传感器的电容值一般与电极材料无关，仅取决于电机的 几何尺寸和介质，且空气介质等介质损耗很小，因此只要从强度、温度系数等机 械特性考虑，合理选择材料和结构尺寸即可，电容传感器工作室本身发热极小， 影像稳定性甚微。 2.结构简单且适应性强电容传感器的结构简单，易于保证高的精度。一般用金 属做电极，无机材料做绝缘支架，可以做得非常小巧。在高温、低温、强辐射及 强磁场等各种恶劣的环境条件下都能正常工作。 3.静电力小。 忧郁极板间存在着静电场， 因此极板上作用着静电引力或静电力矩。 一般来说，这种景点引力是很小的，因此只有对推动力很小的弹性敏感元件，才 须考虑因静电考虑静电引力造成的测量误差。 4.动态响应好由于极板间的静电引力小，需要的作用能亮极小，因此其固有频 率很高，动态响应时间短. 5.可实现非接触测量并且有平均效应。 在被测件不能受力或高速运动等不允许接 触测量的情况下，电容传感器可以完成测量任务。 但是电容式传感器的一些缺点也是不可忽视的 1.输出阻抗高并且负载能力差.电容式传感器的容量受其几何尺寸等限制，不易 做的太大，使传感器的输出阻抗很高，因此传感器负载能力差，易受外界干扰影 响而产生不稳定现象，严重时甚至无法工作，必须采取平屏蔽措施，从而给设计 和使用带来不便。容抗还要求传感器绝缘部分的电阻值极高，否则绝缘部分将作 为旁路电阻而映像仪器的性能，为此还要特别注意周围环境如湿度、清洁度等。 若采取高频供电，可降低传感器输出阻抗，但高频放大、传输远比低频的复杂， 且寄生电容影响大，不宜保证工作的稳定性。 2.寄生电容影响大传感器的初始电容很小，而传感器的引线电缆电容（12m 导线电缆电容可达800pF）测量电路的杂散电容以及传感器极板与周围导体构成 的电容等“寄生电容”却较大，这一方面降低了传感器的灵敏度，另一方面这些 电容常常是随机变化的，使传感器工作不稳定，影响测量精度。因此对电缆的选 择、安装、接法都有严格的要求，例如采取屏蔽性好、自身分布电容小的导线作 为引线，引线粗而短，要保证仪器的杂散电容小而稳定等，否则不能保证高的测 量精度。 4、基本原理 精彩文档 实用标准文案 利用电容C＝εA／d 和其它结构的关系式通过相应的结构和测量电路可以选择ε、A、 d 中三个参数中，保持二个参数不变，而只改变其中一个参数，则可以有测谷物干燥度（ε 变）、测位移（d 变）和测量液位（A 变 ）等 多 种 电 容 传 感 器 。本 实 验 采 用 的 传 感 器 为 圆 筒 式 变 面 积 差 动 结 构 的电容式位移传感器，如下图所示 它是有二个圆筒和一个圆柱组成的。设圆筒的半径为R；圆柱的半径为r；圆柱的长 为x，则电容量为Cε2x／lnR／r。图中C1、C2是差动连接，当图中的圆柱产生 ∆ X 位移时，电容量的变化量为 ∆ CC1－C2ε2 2∆ X／lnR／r，式中ε2 、lnR ／r为常数，说明 ∆ C 与位移∆ X 成正比，配上配套测量电路就能测量位移。 5、设计分析 本文主要是设计差动变面积式电容位移传感器，以及测量电路的设计。利用电容 式传感器非接触测量的特性，测量微小位移的变化，由于位移的变化引起电容的 变化，将电容的变化量转换成电压的变化，由电压的变化测出位移的变化量。本 设计主要目的是如何利用设计的差动变面积式位移传感器与转换原件，尽量消 除外界干扰引起的误差，高精度测出位移的变化量。 精彩文档 实用标准文案 图1.差动电容简图 图1为差动式圆柱形电容传感器的原理简图，此传感器由三个圆柱形电容极板组 成，中间为气体介质，两两构成电容器。当中间的极板上下移动式，它与上下两 个极板组成的电容器的面积就会改变，当中间电容极板向上移动时，与上边极板 间面积增大，与下极板间面积减小；反之，当中间极板向下运动时，与上极