集成电路封装用球形氧化铝微粉-征求

ICS 31.030 CCS L90 中中 华华 人人 民民 共共 和和 国国 国国 家家 标标 准准 GB/T XXXXXXXXX 集成电路封装用球形氧化铝 The specifications of spherical alumina for integrated circuit packaging （征求意见稿） XXXX - XX - XX 发布XXXX - XX - XX 实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发发 布布 GB/T XXXXX202X I 前言 本文件按照GB/T 1.12020标准化工作导则第1部分标准化文件的结构和起草规则的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）提出并归口。 本文件起草单位江苏联瑞新材料股份有限公司、联瑞新材连云港有限公司等。 本文件主要起草人。 GB/T XXXXX202X 1 集成电路封装用球形氧化铝 1 范围 本文件规定了集成电路封装用球形氧化铝的术语和定义、分类与标记、要求、试验方法、检验规则 及标志、包装、运输、贮存及质量证明书。 本文件适用于集成电路封装用球形氧化铝。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 191包装储运图示标志 GB/T 6284 化工产品中水分测定的通用方法 干燥减量法 GB/T 6609.3 氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法钼蓝光度法测定二氧化硅含量 GB/T 6609.4 氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法邻二氮杂菲光度法测定三氧化二铁含量 GB/T 6609.5 氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法氧化钠含量的测定 GB/T 6609.26 氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法 有效密度的测定 比重瓶法 GB/T 6609.32 氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法 第32部分a-三氧化二铝含量的测定 X- 射线衍射法 GB/T 6609.34 氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法 第34部分三氧化二铝含量的计算方法 GB/T 6609.35 氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法 第35部分比表面积的测定氮吸附法 GB/T 6908 锅炉用水和冷却水分析方法电导率的测定 GB/T 9724 化学试剂 pH 值测定通则 GB/T 11446.7 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法 GB/T 14640 工业循环冷却水和锅炉用水中钾、钠含量的测定 GB/T 19077 粒度分析激光衍射法 GB/T15344 滑石物理检验方法 GB/T 32661 球形二氧化硅微粉 GB/T 37406 电子封装用球形二氧化硅微粉球形度的检测方法颗粒动态光电投影法 GB/T 39486 化学试剂 电感耦合等离子体质谱分析方法通则 3 术语和定义 下列术语、定义和符号适用于本文件。 3.1 球形氧化铝 spherical alumina for integrated circuit packaging 采用火焰熔融法、高温熔融喷射法、高温氧化法、等离子体法或液相合成法等制备的球形氧化铝。 3.2 球形度degree of sphericity GB/T XXXXX202X 2 单个粒子平面投影图像接近标准圆形的程度。 [GB/T 37406，定义 3.1 ] 3.3 平均球形度average degree of sphericity 所有颗粒球形度的平均值，反映所有颗粒接近球形的程度。 [GB/T 37406，定义 3.2] 3.4 中位粒径 median diameter 累计粒度分布百分数达到 50时所对应的粒径。写作 D50，单位为微米μm. [GB/T 32661，定义 3.1 ] 3.5 大颗粒切断点 （首选Top cut）/（可选Cut point/Top cut size） 表示对粉体大颗粒粒径尺寸的控制值。单位为微米μm。 4 分类与标记 4.1 产品分类 4.1.1 按放射性元素含量分为普通球形氧化铝和低放射性球形氧化铝。 4.1.2 按中位粒径 D50范围分为 2045μm，1020μm，110μm，＜1μm。 4.1.3 按大颗粒切断点分为 75μm cut，53μm cut，45μm cut，32μm cut，25μm cut，20μm cut，10μm cut， 5μm cut，3μm cut，1μm cut，0.5μm cut。 4.2 标记 A□□□□□□ 切断点 R 代表普通氧化铝，L 代表低放射性氧化铝 中位粒径 D50 代表球形氧化铝 标记示例 D50 为 5.0μm，大颗粒切断点为 45μm，低放射性球形氧化铝，标记为 A050L45。 5 要求 5.1 产品外观 白色粉末，无结团。 5.2 理化性能 5.2.1 大颗粒切断点以上颗粒含量应符合表1的规定。 GB/T XXXXX202X 3 表 1 低放射性球形二氧化硅微粉大颗粒切断点以上颗粒含量 D50大颗粒切断点，μm 20≤D50≤5075554532///// 10≤D50＜207555453220//// 1≤D50＜1075554532201053/ ＜1////2010531 大颗粒切断点以上颗 粒含量 ≤500μg/g≤5 个/1000 个 *有约定时，大颗粒切断点按供需双方协商确定。 5.2.2 产品的主要理化性能指标应符合表2的规定。 性能名称单位 中位粒径，D50 普通低放射性 20≤ D50≤ 50 10≤ D50＜ 20 1≤D50＜ 10 ＜1 20≤ D50≤ 50 10≤ D50＜ 20 1≤D50＜ 10 ＜1 中位粒径μm D50 2.0 D50 2.0 D501.0 D50 0.2 D50 2.0 D50 2.0 D501.0 D50 0.2 铀U含量μg/kg≤≤3≤≤5 钍（Th）含量μg/kg≤≤10≤≤10 比表面积m2/ g0.15.00.510.03.0-500.15.00.510.03.0-50 平均球形度0.900.950.980.900.950.98 含水量≤0.05≤0.3≤0.05≤0.3 真密度103kg/m33.700.203.600.203.700.203.600.20 导热率W/mK≥3 α相含量≥30.0/≥30.0/ 化学成 分 电导率μS/cm≤15 pH58 Na μg/g ≤5.0≤10.0 ≤5.0 ≤10.0 Cl- μg/g ≤3.0≤10.0≤3.0 ≤10.0 Al2O3≥99.7 Fe2O3 μg/g ≤300 Na2O μg/g ≤500 NO3- μg/g ≤5.0 SO42- μg/g ≤5.0 PO4