平板显示器基板玻璃测试方法 第2部分：表面性能

ICS 31.030 CCS L90 中中 华华 人人 民民 共共 和和 国国 国国 家家 标标 准准 GB/T XXXXXXXXX 代替 GB/T 326422016、GB/T 326432016 平板显示器基板玻璃测试方法 第 2 部分 表面性能 Test of flat panel display glass substratepart 2surface properties （征求意见稿） XXXX - XX - XX 发布XXXX - XX - XX 实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发发 布布 GB/T XXXXX202X I 前言 本文件按照 GB/T 1.12020标准化工作导则 第 1 部分标准化文件的结构和起草规则的规定 起草。 本文件是 GB/T XXXXX平板显示器基板玻璃测试方法的第 2 部分。GB/T XXXXX 已经发布了 以下部分 第 1 部分外观与几何尺寸； 第 2 部分表面性能； 第 3 部分热学性能； 第 4 部分力学性能； 第 5 部分光电性能。 本文件代替 GB/T 326422016 平板显示器基板玻璃表面粗糙度的测量方法 、 GB/T 326432016 平板显示器基板玻璃表面波纹度的测量方法，与 GB/T 326422016、GB/T 326432016 相比，除 做结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下 a删除了真实剖面预行程（和后行程）的术语和定义（见GB/T 326422016的2.3） ； b删除了测定长度、相位校正滤波器的术语和定义（见GB/T 326432016的3.3、3.4、3.6,） ； c增加了截止比、λS滤波器、高斯滤波的术语和定义（见3.4、3.5、3.8） ； d更改了2RC滤波器、 高斯分布特性相位补偿滤波器的术语和定义 （见3.6、 3.7， GB/T 326422016 的3.1、3.2） ； e更改了表面粗糙度及波纹度测量的试样要求（见5.1.2、5.2.2，GB/T 326422016的第5部分、 GB/T 326432016的第6部分） ； f增加了表面粗糙度及波纹度测量的数据处理（见5.1.5、5.2.5） 。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）归口。 本文件起草单位彩虹集团有限公司、彩虹集团（邵阳）特种玻璃有限公司、中国电子技术标准化 研究院。 本文件主要起草人高羽、仵小曦、薛新建、李靖波、孙龙文、曹可慰、赵俊莎。 GB/T XXXXX202X 1 平板显示器基板玻璃测试方法 第2部分表面性能 1范围 本文件规定了以触针式表面粗糙度测量仪测试平板显示器基板玻璃表面粗糙度和波纹度的方法。 本文件适用于平板显示器用基板玻璃。 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 32639平板显示器基板玻璃术语 3术语和定义 GB/T 32639 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 触针式表面粗糙度测量仪stylus surface roughness measuring instrument 探针在被测面的一部分上沿轮廓滑行，放大地记录下表面的不平整性并指明放大曲线的振幅是表 面粗糙度数值范围的仪器。 3.2 截止长波长long wavelength cut-off λC 排除自然因素， 当示踪轮廓曲线通过消除波纹因素影响的高通波长滤波器后， 振幅衰减率成为 75 时的波长。 3.3 截止短波长short wavelength cut-off λS 示踪剖面曲线通过滤除粗糙度因素影响的低通波长滤波器后,波幅衰减率成为标准值75时的波长。 3.4 截止比phase correct filter GB/T XXXXX202X 2 截止长波长λC与给予的传输区域的截止短波长λS的比率（λC/λS）,并且将30、100、300这3类作为标 准值。 3.5 λS滤波器low-pass filter 即截止短波长滤波器，为消除因触针的顶端半径而产生的细微波长区域的误差影响。 3.6 2RC 滤波器2RC filter 时间常数相等的 2 组 R-C 回路串联连接的滤波器。在截止波长下的标准传输率是 75。 3.7 高斯分布特性相位补偿滤波器Gaussian phase correct filter 即高斯滤波器， 将高斯分布作为权函数， 将截面曲线中演算卷积积分后的曲线规定为相位补偿滤波 纹度曲线，在截止波长下的传输率是50。 3.8 高斯滤波Gaussian filter 一种线性平滑滤波，适用于消除高斯噪声，广泛应用于图像处理的减噪过程。 4试验环境 除特殊规定外，试验均应在下述环境条件下进行 a温度25 ℃5 ℃； b相对湿度40～80。 5试验方法 5.1表面粗糙度 5.1.1试验装置 使用触针式表面粗糙度测量仪测量平板显示器基板玻璃表面粗糙度， 触针式表面粗糙度测量仪应满 足以下要求 a尖部半径2 m5 m； b尖部材质金刚石材质。 5.1.2试样要求 GB/T XXXXX202X 3 试样为洁净的平板显示器基板玻璃，在荧光灯或白炽灯照射下用肉眼观察，不变形无污物。长宽尺 寸不小于 100 mm100 mm。试样数量为 3 个。 5.1.3测试条件 测试条件应满足以下要求 a计算规格ISO-97 规格； b测量类型粗糙度测量； c滤波类型高斯滤波； d倾斜修正最小二乘直线修正； e测量长度50 mm100 mm； f截止波长0.08 mm； g测量范围128.0 m 或64.0 m； h测量速度0.30 mm/s 或 0.60 mm/s； iλS滤波器； j截止比300； k移动返回速度3.00 mm/s； l返回设定通常测量； m预留驱动长度滤波波长／32。 5.1.4试验步骤 试验按以下步骤进行操作 a取一片待测样品放到触针式表面粗糙度测量仪仪器载物平台上，样品不能弯曲，放置 5 min 或 者更长时间以保证样品与检测间温度一致； b将探针放置于样品上， 放置时要求测试探针运动方向与产品流向方向一致或垂直。 确定测量位 置，并标识出起始测量位置； c依次打开控制箱电源、电脑主机电源及测试软件； d进行测试条件的各项参数设定并确认； e按下坐标调节杆调节测量探针与样品表面的起始点完全接触后， 进行测量， 测试探针沿着样品 表面运动测量实际轮廓平行面，得到真实的轮廓外形和相应的滤波曲线； GB/T XXXXX202X 4 f测量结束后，显示测