GB∕T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件

ICS 29.020 J 09 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T 5226.332017/IEC 60204-332009 机械电气安全 机械电气设备 第33部分半导体设备技术条件 Electrical safety of machineryElectrical equipment of machines Part 33Requirements for semiconductor fabrication equipment IEC 60204-332009,Safety of machineryElectrical equipment of machines Part 33Requirements for semiconductor fabrication equipment,IDT 2017-10-14发布 2018-05-01 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会  发 布 GB/T 5226.332017/IEC 60204-332009 目 次 前言 VⅡ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 3 4 基 本 要 求11 4.1 一般原则 11 4.2 电气设备的选择 11 4.3 电 源11 4.4 实际环境和运行条件 12 4.5 运输和存放 12 4.6 设备搬运 12 4.7 安装 12 5 引入电源线端接法和切断开关 12 5.1 引入电源线端接法 12 5.2 连接外部保护接地系统的端子 13 5.3 电源切断隔离开关 13 5.4 附加切断装置 15 5.5 对未经允许、疏忽和错误连接的防护 15 6 电 击 防 护16 6.1 概述 16 6.2 直接接触的防护 16 6.3 间接接触的防护 17 6.4 采 用PELV 的保护 18 6.5 防止有技能人员和受训人员接触危险带电部分 19 7 电气设备的保护 19 7.1 概 述 19 7.2 过电流保护 20 7.3 电动机的过热保护 22 7.4 电动机的超速保护 22 7.5 异常温度的检测 23 7.6 对电源中断或电压降落随后复原的保护 23 7.7 接地故障/残余电流保护 23 7.8 相序保护 23 7.9 闪电和开关浪涌引起过电压的防护 23 7.10 电解电容器 23 8 等电位联结 23 I GB/T 5226.332017/IEC 60204-332009 8.1 概述 23 8.2 保护联结电路 25 8.3 功能联结 27 8.4 限制大泄漏电流影响的措施 27 9 控制电路，紧急断开EMO 和保护联锁电路 27 9.1 控制电路 27 9.2 紧急断开EMO 28 9.3 紧急断开之外的操作 29 9.4 联锁保护30 9.5 安全功能和或保护措施的暂时停止 31 10 操作板和安装在机械上的控制器件 31 10.1 总则 31 10.2 按钮 32 10.3 指示灯 33 10.4 光标按钮 34 10.5 旋动控制器件 34 10.6 起动器件 34 10.7 紧急断开装置 34 10.8 紧急停止装置 35 10.9 使能控制器件 35 11 控制设备位置、安装和电柜 35 11.1 一般要求 35 11.2 位置和安装 35 11.3 防护等级 36 11.4 电柜 36 12 导线和电缆38 12.1 一般要求 38 12.2 绝缘 39 12.3 载流容量 39 12.4 导线和电缆的电压降 39 12.5 柔性电缆 39 13 配线技术 40 13.1 连接和布线 40 13.2 多插座组件 42 13.3 插头/插座组合件 42 13.4 导线的标识 42 13.5 电柜外配线 43 13.6 管道、接线盒与其他线盒 45 14 电动机及有关设备 46 14.1 一般要求 46 14.2 远程安装的电动机 46 Ⅱ GB/T 5226.332017/IEC 60204-332009 14.3 电机尺寸 46 14.4 电机的安装与隔间 46 15 附件和照明 46 15.1 附件 46 15.2 半导体设备的局部照明 46 16 标记、警告标志和参照代号47 16.1 概述 47 16.2 电击危险警告标志 47 16.3 功能识别 47 16.4 设备的铭牌 48 16.5 参照代号 48 17 技术文件 48 17.1 概述 48 17.2 提供的资料 48 17.3 适用于所有文件的要求 49 17.4 安装文件 49 17.5 概略图和功能图 50 17.6 电路图 50 17.7 操作文件 50 17.8 维修文件 50 18 测试 51 18.1 概述 51 18.2 接地连续性和保护联结回路连续性试验 51 18.3 一体式电源线的接触电流试验 52 18.4 耐压试验 52 18.5 电线防拉试验 53 18.6 电输出源短路试验 54 18.7 联锁保护电路功能试验 54 18.8 储能电容器放电试验见6.2.454 18.9 温度试验 55