2微细电火花加工技术与发展趋势势

微细电火花加工技术与发展趋势 于同敏 黄晓超 大连理工高校机械工程学院模具探讨所 大连 116023 摘要本文简要的介绍了微型制件及微型模具的定义和分类，并着重介绍了应用于微型模具型腔加工的微细加工技术微细电火花加工。总结了微细电火花的发展趋势和关键技术。 关键词微注塑模具 微细电火花 关键技术 Technology of Micro Electrical Discharge Machining and Its Development Trend YU Tongmin HUANG Xiaochao Institute of Die and Mould of School of Mechanical Engineering of Dalian University of Technology, Dalian 116023 Abstract The division and definition of micro part and micro mould were introduced in this paper. Emphsis was given to illustrate the micro-machining technology of mould cave manufactureng Micro electrical discharge machiningM-EDM . A conclusion of the development trend and key technology of MEDM was made in this paper. Key wordsMicro-injection mould Micro-EDM Key technology 0 前言 为了满意塑料制件在各种工业产品中的运用要求，塑料成型技术正朝着困难化、精密化、微小化等方向发展，例如应用于微机电系统的微马达、微小齿轮以及应用于生物工程领域的细胞培育皿和微流控芯片等的成型。除了必需研发或引进微型和精密成型设备外，微小且精密的塑料成型模具更是须要采纳先进的模具CAD/CAE/CAM技术来设计制造，并运用各种先进的加工手段。 微型模具的制造主要通过微细加工，目前的微细加工方法主要有①微细切车削、铣削和磨削等；②微细特种加工如电火花、电化学、激光、超声波、离了束和电了束等；③光刻、蚀刻和LIGA技术。其中微细电火花加工应用最为广泛，也是近年来探讨的重点方向之一。 1 微型模具 1.1 微型模具的定义 应用微细加工方法制作微型模具，再通过微型模具成形微型制件，具有生产效率高、制件尺寸稳定性好的优点。因此，近年来关于微型模具制造技术的探讨普遍受到人们的关注。但到日前为止，对于微型模具，也没有统一的定义，通常人们习惯于在尺寸和制造精度上来进行限定，即微型模具在尺寸和制造精度上可有如下儿个非约束性的特征主要指微型模具的成形部分①成形的制件体积可达1mm左右；②微观尺寸从几微米到儿百微米；③模具表面粗糙度值在0.1m以下；④模具制造精度从lm到0. lm。但随着微机械及微细加工技术的发展，这些特征参数值在不断减小。 1.2 精密微型模具的分类 微型模具根据成形制件的不同可分为以下儿种类型 1微冲压类模具 多用于金属和塑料板材的成形，包括微冲切模具和微弯曲模具等。日本东京高校生产技术探讨所进行的微冲压加工，已在50m厚的聚酞胺塑料板材上冲出了宽度为40m的非圆截面微孔。 2微锻造模具 微型锻造制件尺寸多在毫米量级以上，尺寸精度可以达到IT7～IT9级，包括热压印模具等。 3微压铸模具 用于微小金属零件的压铸成形，可成形锌、铝合金等微型压铸件。 4微注塑成形模具 用于高分了材料的注塑成形，是目前探讨与应用最为广泛的一种微型模具。目前在德国以LIGA技术为基础制造的微注塑模具已可用来生产质量小于1mg或者局部结构化面积只有儿平方微米的极微小型注塑制品。 2 微细电火花加工技术 2.1 微细电火花加工原理 微细电火花加工同一般电火花加工的放电机理一样，在加工过程中，电极和工件不接触，利用电极和工件之间不断产生脉冲性火花放电，靠放电时局部、瞬时产生的高温把金属蚀除，从而形成所需的加工表面。电火花加工的加工原理如图2.1所示。 图2.1 电火花加工原理示意图 工件与电极分别与脉冲电源的两输出端相联接。自动进给调整装置使电极和工件间常常保持很小的放电间隙。当脉冲电压加到两极之间时，便在当时条件下相对某一间隙最小处或绝缘强度最低处击穿介质，在该局部产生火花放电，瞬时高温使电极和工件表面都蚀除掉小部分金属，各自形成一个小凹坑。脉冲放电结束后，经过一段间隔时间，使工作液复原绝缘后，其次个脉冲电压又加到两极上，又会在当时极间距离相对最近或绝缘强度最弱处击穿放电，又电蚀出一个小凹坑。这样随着相当高的频率，连绵不断地重复放电，电极不断地向工件进给，就可将工具端面和横截面的形态复制在工件上，加工出所须要的和电极形态阴阳相反的零件，整个加工表面由多数个小凹坑所组成。 电火花加工的微观过程是电场力、磁力、热力、流体动力、电化学和胶体化学等综合作用的过程。这一过程大致可分为以下四个连续阶段。 1极间介质的电离、击穿，形成放电通道。当脉冲电压施加于电极和工件之间时，两极之间马上形成一个电场。电场强度与电压成正比，与距离成反比，随着极间电压的上升或是极间距离的减小，极间电场强度也将随着增大。由于电极和工件的微观表面是凹凸不平的，极间距离又很小，因而极间电场强度是很不匀称的，两极间离得最近的突出或尖端处的电场强度一般为最大。由于电场强度增高和负极表面局部过热而引起大量电子放射，使介质击穿而电阻率快速降低，形成放电通道。 2介质热分解、电极材料熔化、气化热膨胀。极间介质一旦被电离、击穿，形成放电通道后，脉冲电源使通道间的电子高速奔向正极，正离子奔向负极。电能变成动能，动能通过碰撞又转变为热能。于是在通道内正极和负极表面分别成为瞬时热源，达到很高的温度。通道高温将工作液介质气化，进而热裂分解气化。正负极表面的高温使金属材料熔化甚至沸腾气化。这些气化后的工作液和金属蒸气，瞬间体积猛增，在放电间隙内成为气泡，快速热膨胀，就像火药、爆竹点燃后那样具有爆炸的特性。 3电极材料的抛出。通道和正负极表面放电点瞬时高温使工作液气化和金属材料熔化。气化，热膨胀产生很高的瞬时压力。通道中心的压力最高，使气化了的气体体积不断向外膨胀，形成一个扩张的“气泡”。气泡上下、内外的瞬时压力并不相等，压力高处的熔融金属液体和蒸气，就被排挤、抛出而进入工作液中。由于表面张力和内聚力的作用，使抛出的材料具有最小的表面积，冷凝时凝合成细小的圆球颗粒。事实上熔化和气化了的金属在抛离电极表面时，向四处飞溅，除绝大部分抛入工作液中收缩成颗粒外，还有小部分飞溅、镀覆、吸附在对面的电极表面上。熔融材料抛出后，在电极表面形成放电痕。 4极间介质的消电离。随着脉冲电压的结束，脉冲电流也快速降为零，但此后仍应有一段间隔时